CYB320溅射膜压力变送器的典型结构形式

CYB320系列溅射膜压力变送器的典型结构示意图如图1所示，产品由基座、弹性敏感元件（芯体）、引线支架、真空密封连接器、信号处理电路和电器连接器等组成。

图1 溅射膜压力变送器的典型结构示意图

溅射膜压力传感器芯体的原理如图2所示，流体压力作用在不锈钢弹性膜片上,使膜片产生变形,采用离子束溅射和刻蚀技术在膜片上制作了组成电桥的薄膜电阻, 膜片变形使电阻阻值发生变化,电桥输出与压力成比例的电信号。通过电路对电桥输出的信号进行放大、处理、误差数字化修正，再变换成标准电信号输出。

图2 溅射膜压力传感器原理图

CYB320系列产品采用薄膜压力传感器为核心，总体外形结构体积较小、重量轻；外壳采用不锈钢密封焊接封装，电器连接采用密封连接器插座，内部电子电路采用耐高温胶灌封，整体外壳防护等级可达IP66级；传感器无可动部件和灌充硅油，抗振动抗冲击能力强。

1）耐蚀不锈钢弹性体与测量介质直接接触，无隔离膜片和灌冲油，工作温度范围宽，测量准确、真实；

2）应变电阻为合金材料，稳定性高、温度漂移小；

3）全不锈钢密封结构，内部无可动部件，适应高振动、宽温度范围、潮湿、低气压等恶劣环境；

4）产品精度高，体积较小。本文源自泽天传感，版权所有，转载请注明出处。