确保泽天溅射薄膜压力传感器高性能的核心技术

泽天传感高性能溅射薄膜压力传感器同时具有高精度(±0.05%FS)、大量程(0～0.51～220MPa)、宽工作温度范围、特殊产品温度范围达到-196℃～+350℃，且温度漂移小至0.0004%FS/℃、长期稳定性好等优点，这是由于溅射薄膜产品采用了泽天传感独有的多项核心技术。

1）、非晶金属弹性体技术

耐高温、抗腐蚀、弹性应变大的弹性体材料；

非晶态合金具有金属和玻璃的优点，并克服了它们各自的缺点；

非晶态合金材料，弹性应变量为弹性钢的四倍；

具有很高的力学性能和优异耐腐蚀（耐腐蚀性是不锈钢的100倍）、耐磨损性能。

2）、极低温度系数新组分合金敏感材料技术

采用特殊组分的NiCr金属材料，添加特殊元素制作新型敏感材料，在400℃高温下可长期稳定工作；TCR≦2ppm/℃。

3）、纳米功能薄膜设计与制备技术

采用真空纳米薄膜制备系统制备优质功能薄膜，保证压力传感器的综合性能；

纳米薄膜，致密，附着力大大提高；

界面原子結合，提高了疲劳性能，传感器蠕变和滞后极小，改善了传感器的静态特性；

膜的散热性好，改善了传感器温度性能；

膜针孔少，提高了绝缘性能。本文源自泽天传感，版权所有，转载请保留出处。