耐腐蚀的干式陶瓷电容压力传感器的特点

电容压力传感器(例如泽天传感CYB167)是采用陶瓷材料经特殊工艺制造而成的干式陶瓷电容压力传感器，陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性可以使它的工作温度范围高达-40～125℃，而且具有测量的高精度、高稳定性。

抗腐蚀的干式陶瓷电容压力传感器没有中间液体的传递，过程压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，衬底的电极与膜片电极的电容量变化比例与压力大小，电容的变化值经激光微调，内置的温度传感器不断测量介质的温度并进行温度补偿。过载时，膜片贴到陶瓷衬底上而不会损坏。当压力恢复到正常时，其性能不受任何影响。彻底解决了低量程过载能力差的缺点。由于没有任何填充液，不会产生工艺污染，因此在食品、医药等行业有着广泛的应用，加之是干式陶瓷膜片，故不受安装方向影响，以其作为敏感元件生产的压力变送器被广泛地应用在各种测量压力的场合。

干式陶瓷电容厚膜压力传感器的最大特点是：量程可以小到700Pa，抗过载能力可达量程10倍，彻底解决了其它类型传感器没有小量程及在小量程时过载能力差的缺点。同时，陶瓷电容压力传感器还具有以下特点：

1、坚固的陶瓷电容敏感膜片，陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动、导热性好的材料；

2、卓越的抗腐蚀、抗磨损性能，陶瓷电容压力传感器配合特制的聚四氟垫圈和抗腐蚀外壳材料如聚四氟，聚三氟，坦，蒙乃尔，可以测所有强腐蚀性介质，用于测量腐蚀性介质，如海水的高度测量，硫酸，硝酸，化学液体气体的压力测量等；

3、高的抗过载性能，最大过载可达10倍，量程迁移比达10：1，小量程陶瓷电容过压可达百倍，大量程陶瓷电容过压可达几十倍，过载方面，可以与溅射膜压力传感器可有一比，完胜扩散硅压力传感器，这主要是由于陶瓷本身就是高弹性材料，再加上过压后陶瓷膜片就贴到后部极板，压力撤掉后又可以恢复；

4、高精度、高稳定性，陶瓷压力传感器温度范围可宽至-40℃～125℃,全温区误差不超过0.2%FS；

5、与溅射膜压力传感器一样，没有缓冲传压介质，具有响应迅速，无迟滞；

6、纯净的陶瓷基体无中介液不会产生工艺污染，适用于食品、医药行业或者腐蚀性液位的测量；

7、泽天传感采用陶瓷电容压力传感器作为敏感元件的的相关产品有CYB167、CYB161、ZLM680等。本文源自泽天传感，转载请保留出处。