CY10溅射膜压力传感器芯片

CY10溅射薄膜压力传感器采用先进的离束溅射工艺，在弹性膜片上淀积多层薄膜，采用干法刻蚀技术将NiCr膜刻蚀成电阻桥。在流体压力作用下，膜片变形使桥路电阻几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出与压力成比例的电信号。微电子工艺制作出的惠斯登电桥和膜片组成全金属型敏感元件，由于无任何粘贴剂和活动部件，无密封腔和充油腔，因此具有以下特点。

1、正常工作条件下，不需作任何调整，零点输出的长期稳定性优于±0.1%F.S/年；

2、无论是连续还是间断通电，室温下传感器的零点漂移误差优于±0.1%F.S；

3、传感器的综合精度（含非线性、重复性、滞后误差）可达到0.05级、0.1级；

4、工作温度范围宽：常规产品-40℃～125℃，特殊产品-55℃～180℃；

5、可靠性高，平均无故障工作时间超过50000小时；

6、传感器输入阻抗高、功耗小、响应速度快；

7、耐湿、抗振动、抗冲击、抗电磁与核辐射干扰；

8、弹性体和应变电阻材料都是金属材料, 溅射工艺代替粘贴工艺, 消除了胶的影响，无蠕变、不老化、工作温度范围宽、温度特性好；

9、体积小、重量轻，适合大批量组装生产。

应用领域

军事工业：武器及试验系统、军用卫星、运载火箭与发射地面支撑装置、坦克及战车发动机、航空发动机测试系统、舰艇、、航天器、航天飞行器飞行数据测试、弹道导弹、机载激光器压力测量；

石化能源：油田钻井、测井、录井、试压设备、油井测量仪器、近海深海石油开采平台、天然气、石油输送管道、电厂、核电站、高温地热发电机；

高温燃油与发动机制造：燃烧室压力、燃油压力控制系统、燃气轮机和发动机测试、内燃机、压缩机、试验机、蒸汽等高温高压的压力测量；

工程机械与液压系统：高温液压系统、液压机械、液压泵站、压铸机、静压机等；

船舶交通：船舶制造、柴油机高压共轨压力测量、汽车压力测量等；

科研与试验：髙端设备配套、工程项目配套。

典型尺寸

技术参数

灵敏度及非线性

使用指南

1、严禁用手或其他物体接触膜片表面（应变图形），膜片表面的任何划伤均会损坏膜片；

2、膜片电接点焊接后建议使用硅凝胶涂覆膜片表面以保护应变电桥；

3、膜片焊接后，应对传感器组件进行机械稳定20次以上，压力大小为量程的2倍；

4、建议对应变电阻进行电老化：供电电压10～15VDC，＋150℃ 12小时。

相关资料

1、CY10溅射膜压力敏感元件外形尺寸CAD图 请点击下载。